王 艳, 张淑仪, 周凤梅, 杨跃涛
南京大学学报(自然科学版). 2011, 47(2): 218-226.
用一种混合方法用来制备 ZnO 纳米结构薄膜, 首先利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积 ZnO 薄膜作为种子层, 然后用水热方法合成 ZnO 纳米结构薄膜. 为研究 ZnO 纳米结构薄膜的特性, 利用 X一一一 射线衍射
( XRD) 及扫描电子显微镜( SEM) 对薄膜的结构和形貌进行分析, 并用 X一一一光电子能谱技术( XPS) 对薄膜的化学组份进行分析, 最后利用光致发光方法( PL) 对 ZnO 薄膜的发光性能进行了研究. 从 XRD 谱图中可以看出, 无论溅
射的 ZnO 种子层还是水热合成 ZnO 纳米结构薄膜均为良好 c 轴( 002) 结晶状态的六角纤锌矿结构. 从 SEM 图像看出, 磁控溅射 ZnO 种子层为连续平整的膜状结构; 而经过水热处理后则得到垂直于衬底的六角纳米棒和纳米片
两种不同形貌的结构. XPS 分析现示, 在 ZnO 种子层中, 锌和氧的比例基本上为 1, 说明磁控溅射 ZnO 晶体质量较好; 而 ZnO 纳米结构薄膜中存在明显的氧空位缺陷. 值得提出的是 ZnO 纳米薄膜光致发光谱存在异常的特性, 采
用波长为 325 nm 的 He- Cd 激光激发出可见光范围( 500 ~ 700 nm) 内的发光带, 强度最强的是橙 红色的光( ~ 600 nm) , 且肉眼可直接观察到. 随着激发光波长在 280~ 380nm 范围内变化, 橙? ? ? 红色光的强度首先增加后
减小, 在激发光波长 350 nm 处, 强度达到极大, 且极大发射的波长出现红移. 进一步, 结合上述 XPS 结果以解释这
种强可见光的发射, 可以认为主要是由薄膜中与氧空位有关的缺陷造成.