非晶掺氧氮化硅薄膜中NSiO发光缺陷态的研究
董恒平1，2，3*，陈坤基2，3，宗 波1，井娥林1，王 昊1，窦如凤1，郭 燕1，徐 骏2，3
Investigation on luminescent defect state related to NSiO bonding
in amorphous oxygenated Silicon nitride film
Dong Hengping1，2，3*，Chen Kunji2，3，Zong Bo1，Jing Elin1，Wang Hao1，Dou Rufeng1，Guo Yan1，Xu Jun2，3
南京大学学报(自然科学版)
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2017, (3): 392
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