非晶掺氧氮化硅薄膜中N­Si­O发光缺陷态的研究

董恒平1，2，3*，陈坤基2，3，宗　波1，井娥林1，王　昊1，窦如凤1，郭　燕1，徐　骏2，3

南京大学学报(自然科学版) ›› 2017, Vol. 53 ›› Issue (3) : 392.

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非晶掺氧氮化硅薄膜中N­Si­O发光缺陷态的研究

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 Investigation on luminescent defect state related to N­Si­O bonding
in amorphous oxygenated Silicon nitride film

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