快速热退火增强非晶SiCxOy薄膜蓝绿光发射特性研究

 林圳旭*，宋　捷，黄　锐，王　岩，王怀佩，郭艳青，宋　超

南京大学学报(自然科学版) ›› 2017, Vol. 53 ›› Issue (3) : 428.

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 快速热退火增强非晶SiCxOy薄膜蓝绿光发射特性研究

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 Effects of rapid thermal annealing on the enhanced blue­green photoluminescence from amorphous Silicon oxycarbide films

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