镶嵌于非晶碳化硅中的高导电性掺杂纳米晶硅的制备与电学性能研究

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南京大学学报(自然科学版) ›› 2016, Vol. 52 ›› Issue (5) : 780.

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Formation and electrical properties of high conductively doped nanocrystalline silicon embedded in amorphous silicon carbide

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