全介质硅基微腔结构的模拟与实验研究

王朝晔,侯国智,李伟,徐骏,陈坤基

南京大学学报(自然科学版) ›› 2020, Vol. 56 ›› Issue (5) : 737-743.

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南京大学学报(自然科学版) ›› 2020, Vol. 56 ›› Issue (5) : 737-743. DOI: 10.13232/j.cnki.jnju.2020.05.013

全介质硅基微腔结构的模拟与实验研究

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Simulation and experimental study of all⁃dielectric silicon⁃based microcavity structure

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