栅介质材料及尺寸对薄膜晶体管性能影响研究

裴智慧,秦国轩

南京大学学报(自然科学版) ›› 2019, Vol. 55 ›› Issue (5) : 740-749.

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南京大学学报(自然科学版) ›› 2019, Vol. 55 ›› Issue (5) : 740-749. DOI: 10.13232/j.cnki.jnju.2019.05.005

栅介质材料及尺寸对薄膜晶体管性能影响研究

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Investigation on the influence of gate dielectric material and size onthin⁃film transistors performance

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